Смола для полупроводников, ArF, Entrydell

Широкий набор систем визуализации высокого разрешения для облучения на длине волны 193 нм, включая позитивную сухую и иммерсионную визуализацию и проявление негативного тона (NTD)
- Высокая пропускная способность
- Превосходное разрешение
- Широкие технологические окна
- Низкий уровень дефектов
- Вертикальные профили

- Серия GAR
- Продукты серии GAR подходят для работы с широким спектром приложений, требующих сухого облучения на 193 нм
- Серия FAiRS для PTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения при 193 нм и развития положительного тона
- Серия FAiRS для NTD
Серия продуктов FAiRS подходит для работы с широким спектром приложений, требующих иммерсионного облучения 193 нм и развития негативных тонов

Характеристики

• Производитель: Entrydell
• Артикул: ArF
• Использование: для полупроводников